LPCVD设备的高精度串级温度控制系统

在大部分半导体工艺中,温度都是最重要的工艺参数之一,炉温的均匀性和稳定度对工艺都有着至关重要的影响。主要介绍了LPCVD设备中的高精度串级温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,温度稳定度≤±0.5℃/24h。     

下一代电视:HDTV

简单介绍数字电视的概念、分类及它们之间的区别,高清电视的发展历史及其优势。     

基于AFM的微结构加工实验研究

本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统，在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验，与SPI系统本身的刻划软件刻划出的图形进行了比较分析，得出这个系统适合微结构的加工；并给出了采用该方法加工的1111面及多边形面微结构；还分析了金刚石针尖几何角度及SPM和工作台的相关参数对加工的影响。     

NSA-500-1型氩弧焊机VD9不同接法对引弧和稳弧的影响

从一起NSA－500－1型氩弧焊机故障，分析其高压脉冲旁路二极管VD9不同接法对引弧、稳弧及设备安全的影响。     

一类专家模型参考自适应控制

本文将专家系统技术和模型参考自适应控制相结合，提出了一种新的基于专家系统模型参考自适应控制，该系统集智能控制思想与专家技术于一身，从而得到很强的控制律，为验证其有效性，以两关节机器人为对象进行仿真，在有负载扰动情况下，该系统能使机器人跟踪上希望轨迹，其系统响应和鲁棒性优于常规的控制算法。     

一种基于阵列式触觉传感器的主动触觉搜索方法及仿真

本文在一种二指节手指模型的基础上，提出了一种新的主动触觉搜索策略和方法，综合利用阵列式触觉传感铭的输出图象来不断改变机械手的姿态，从而依次有序地搜索到三维物体的特征点，并据此生成物体的三维图形。此外还讨论了上述方法的计算机仿真实现。     

一个新的力觉临场感系统模型

本文提出了一个新的力觉临场感系统模型，讨论了它的二端口网络结构，推导了相应的网络特性参数，分析了参数的含仪和测量方法。此外，对理想系统的参数也进行了分析，本文的研究为临场感技术的发展提供了基础。     

广东省伴生放射性矿资源利用过程辐射水平调查

为加强伴生放射性矿物资源开发利过程中放射性环境管理 ,防治放射性污染 ,对广东省几个大型伴生矿(包括稀土矿、钽铌矿和铅锌矿 )资源利用 (开采、冶炼、加工 )过程中天然放射性核素的污染现状进行了调查。调查结果表明 :稀土矿中独居石 ,天然放射性核素含量最高 ,2 3 8U、2 3 2 Th、2 2 6Ra的含量分别为 3.5 1× 1 0 4、1 .74× 1 0 5、4 .8×1 0 4Bq/kg,其冶炼废渣中核素的含量分别为 5 .1 0× 1 0 5、6 .38× 1 0 6、1 .5 2× 1 0 6Bq/kg。稀土选冶厂周围陆地环境 γ射线的空气吸收剂量率比一般地区的高。     

甲醇氧化羰化制碳酸二甲酯产物气相色谱分析

以Chromosorb 10 1为固定相 ,气相色谱法分析甲醇氧化羰化制碳酸二甲酯产物中水、甲醇、乙酸甲酯和碳酸二甲酯等组份的含量 ,考察了柱温 ,载气流量对分离度的影响 ,确定了适宜的分析条件 ,并用校正面积归一化法定量。该方法操作简便 ,快速 ,精度高 ,重现性好